CIF旋涂機(jī)

CIF推出的旋涂機(jī)系列產(chǎn)品轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。
旋涂機(jī)原理：
旋涂機(jī)（spin coater）是一種薄膜制備設(shè)備。在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，在離心力作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產(chǎn)品特點(diǎn)
u?采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
u?7寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配20個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，最多100個(gè)階段。
u?內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，最大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u?多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋子彈開傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，最大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
u?樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。
u?一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
u?符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。
u?不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
u?上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。
u?可選氮?dú)獯?/span>掃、氮?dú)獗Ｗo(hù)，自動(dòng)滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。
u?適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)
MSC
SC1
SC2
轉(zhuǎn)速
0-10000rpm
0-10000rpm
0-10000rpm
加速度
0-10000rpm/s
0-10000rpm/s
0-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度
±1％
±1％
±1％
勻膠時(shí)間
0-9999s
0-9999s
0-9999s
工作艙直徑
直徑180mm
直徑180mm
直徑240mm
基片尺寸
圓片Φ≤6吋，方片最大105x105mm
圓片Φ≤6吋，方片最大105x105mm
圓片Φ≤8吋，方片最大140x140mm
外型尺寸
L245xW325xH215mm
L245xW325xH285mm
L305xW385xH285mm
包裝尺寸
L365xW445xH335mm
L365xW445xH405mm
L425xW505xH405mm
整機(jī)重量
6.3Kg
7.6Kg
11.6Kg